НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ (НИЛ-35)
Главная Основные результаты Материальная база научных исследований Источники финансирования Контакты

 

Автоматическая установка магнетронного и термического нанесения «Caroline D12A»

Вакуумная напылительная установка Caroline D12A рис.5.1.1 предназначена для мелко- и среднесерийного производства и проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления.

В качестве подложек могут быть использованы различные материалы: ситал, поликор, керамика, кремний и т.д.
Установка обеспечивает напыление пленок Al, Cu, Ti, Cr, Siи другим металлов и полупроводников, а также их оксидов и нитридов (при соответствующем выборе технологических режимов.

Технические характеристики:

Количество подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт )

12шт. Ø100 мм.
24 шт. 60x48

Стартовое давление в рабочей камере, Па

10-3

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час)

0÷9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов до (шт.)

3

Количество подаваемых (неагрессивных) газов до (шт.)

1

Количество термических испарителей до (шт.)

2

Количество магнетронов в установке (шт.)

1÷4

Тип магнетронов для напыления пленок                              

Импульсный 
среднечастотный

Рабочий ток магнетронов, регулируемый (А)                         

0,5÷8

Рабочее напряжение магнетронов (В)                                 

300÷650

Материал   и   размер   мишеней: металлы, сплавы, PC, кремний  (могут использоваться составные мишени  не прямого охлаждения), мм

Ø 100×4÷12

Рабочее давление в вакуумной камере, Па

0,7÷0,3

Диапазон контроля сопротивления свидетеля (кОм)

0,2÷20

Погрешность измерения сопротивления (%)

±3

Рекомендуемая    температура    нагрева    подложек, °С 

50÷250

Нестабильность температуры подложек (%)

±5

Предельное остаточное давление в рабочей камере, (Па)

2x10-4 

Время подготовки установки к работе с учетом "разгона" крионасоса не более (мин )

110

Масса со стойкой питания и управления, кг.

До 1850

 

 

"Caroline D12A" Электронное учебное пособие