НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ (НИЛ-35)
Главная Основные результаты Материальная база научных исследований Источники финансирования Контакты

 

Установка плазменного травления – «Caroline РЕ15»


Вакуумно-технологическая установка плазмохимического и ионно-химического травления Caroline PE15 предназначена для мелко- и среднесерийного производства и проведения исследовательских работ в области плазмохимического, ионно-химического и ионного травления подложек диаметром до 200 мм. При этом обеспечиваются следующие возможности:
1. Травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, монокристаллический кремний).
2. Травление арсенида галлия, нитрида галлия и других сложных полупроводников.
3. Травление алюминия, меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением.

Технические характеристики:

Количество подложек, обрабатываемых за 1 цикл (шт )

1шт. Ø200 мм.
6 шт. 60x48

Автономная замкнутая система водоснабжения с температурой выше точки росы при любых режимах эксплуатации, и охлаждением от оборотной воды предприятия

 

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Время полного обезгаживания, мин.

60

Давление в шлюзе загрузки-выгрузки, Па

2

Время откачки шлюза до Па, сек.

60

Время перезагрузки пластин из шлюза в рабочую камеру, сек.

120

Количество каналов рабочих газов до 4-х каналов агрессивных газов (Cl2 SiCl4 и т.д.), шт.

2÷8

ВЧ мощность, подаваемая на антенну генератора плазмы

100÷900 Вт,
13,56 МГц

Частота напряжения смещения

100 кГц, или
13,56 МГц

Мощность, подаваемая на столик, Вт

до 900

Равномерность на Ø 150 мм. при травлении SiO2, %

±1

Диапазон рабочих давлений, Па

5х10-2±5

Габаритные размеры агрегата технологического (ширина × глубина × высота) с открытой крышкой, мм.

1300х850х1825

Масса со стойкой питания и управления, кг.

до 1600

Электронное учебное пособие