НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ ЛАБОРАТОРИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ (НИЛ-35)
Главная Основные результаты Материальная база научных исследований Источники финансирования Контакты

 

Станция лазерной записи «CLWS-200S»

Комплекс оборудования, основой которого является станция прямой лазерной записи микроструктур, представляет собой управляемую от ЭВМ прецизионную лазерную записывающую систему, работающую с субмикронным разрешением в полярной системе координат. Станция позволяет в автоматическом режиме изготавливать элементы дифракционной оптики с произвольной структурой, изделия микромеханики, фотошаблоны оптических интегральных схем и оригиналы форматированных мастер дисков для оптической памяти.

 

минимальный размер дифракционной структуры
максимальный размер изготавливаемого ДОЭ
максимальное количество ступенек рельефа
точность выполнения структуры
Технологии записи

0,6 мкм
210 мм
256 (фоторезист)
0,1 мкм
Термохимическая – хром, фоторезист

Характеристики оборудования:

Размер поля записи -
Поверхность записи -
Размер записывающего пятна -       
Скорость записи, не менее -
Модуляция записывающего пучка

Рабочая длина волны записи –

Мощность излучения в записывающем пятне -

Дискретность позиционирования, не более -
Точность позиционирования, не хуже -
Скорость вращения подложки -
Дискретность определения угла поворота –
Точность определения углового положения -

210 мм
плоскость (сфера*)
0,4 мкм (уровень 1/2)
20*106 имп/сек
8 бит (быстрая)
18 бит (медленная)
457-514 нм

до 100 мВт

0,01 мкм
0,1 мкм (радиальная)
5 -20 об/сек
0,25 угл.сек
2 угл.сек

Станция лазерной записи «CLWS-200S»
Состав основного комплекта станции:
  • гранитная плита,
  • аргоновый лазер мощностью не менее 2 Вт,
  • оптическая система канала модуляции,
  • система позиционирования головки записи,
  • интерферометр системы позиционирования,
  • привод вращения угловой координаты с датчиком угла поворота,
  • система автоматической фокусировки и позиционирования по вертикали головки записи (поставляется с фокусирующим микрообъективом ОЭ-40),
  • управляющий компьютер с блоками электроники;
  • системы контроля окружающей среды, мониторинга состояния узлов и блоков станции, выработки сигналов для их коррекции;
  • системы определения характеристик записываемого элемента в процессе изготовления;
  • системы электропитания, управления вакуумным прижимом заготовки и переключения сжатого воздуха.
Габариты и вес:
  • Размеры лазерного записывающего блока, не более                        0,65х0,6х0,5 м3
  • Вес блока, не более                                                                               150 кг

Эксплуатационные характеристики Установка рассчитана на эксплуатацию в микроклиматической камере типа КМК при температуре 20-25оС. В процессе записи изменение температуры не должно превышать 0,1оС. Расстояние между лазерным блоком записи и рабочим местом оператора не более 4 м.
Амплитуда вибраций не должна превышать 2 мкм при частоте до 5 Гц и 1 мкм при частоте свыше 5 Гц.
Питание установки осуществляется от сети напряжением 220 В, 50 Гц. Потребляемая мощность не превышает 0,5 кВт. Время непрерывной работы не более 12 час.
Для эксплуатации станции ее надо подсоединить к вакуумной магистрали (насосу) с остаточным давление от 0,01-0,03 МПа (0,1-0,3 кг/см2).
Для эксплуатации установки в нее надо подавать очищенный сжатый воздух под давлением 0.8-1 МПа (8-10 кг/см2). Станции не гарантируются. Расход воздуха, подаваемого в установку, не более 50 м3/час. Температура сжатого воздуха должна отличаться от температуры окружающей среды не более чем на 1оС.
При отклонении эксплуатационных характеристик от требуемых, технические параметры Станции не гарантируются. Комплект поставки установки:

  • Оптико-механический блок записи.
  • Силовой блок
  • Управляющий компьютер.
  • Соединительные кабели.
  • Пакет программного обеспечения управления и тестирования Станции.
  • Комплект эксплуатационной документации.
  • Описание технологий записи.
  • Изготовитель осуществляет сборку, настройку, пробную эксплуатацию и обучение персонала Заказчика.

 

Техническое описание